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[光学平台]光学气浮平台组成、测量方法先容!

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一、光学平台的结构组成 1、优质平台和面包板应具有全钢结构,包括厚5毫米的顶板和底板,以及厚0.25毫米的精密加工的焊接钢制蜂窝芯。蜂窝芯通过精确的压膜工具制成,通过焊接平...

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    一、光学平台的结构组成
    1、优质平台和面包板应具有全钢结构,包括厚5毫米的顶板和底板,以及厚0.25毫米的精密加工的焊接钢制蜂窝芯。蜂窝芯通过精确的压膜工具制成,通过焊接平垫片保证其几何间距。
    2、热稳定性的关键之处在于各轴方向上都具有对称、各向均匀的钢制结构。钢制部件在热交换过程中的延伸性和收缩性是相似的,可以在温度变化过程中保持良好的平整度。
    3、钢制的蜂窝芯结构从顶板延伸到底板,中间并无塑料或铝质泄露管理结构,因此不会降低平台整体的刚度或是引入更高的热膨胀系数。大家采用钢质侧板,这样就消除了由于湿度而引起的环境不稳定因素。
    4、自动化加工系统平台和面包板的特殊之处是采用自动轨道机械哑光表面加工,比老旧的平台产品更加平滑、平整。这些平台经过改善的表面抛光处理后,表面平整度在1平方米,为安装部件提供了接触表面。
    二、光学平台的测量方法
    1、用脉冲锤对平台或面包板的表面施加一个已测量的外力,并将一个传感器贴合在平台或面包板表面对合成振动进行测量。探测器发出的信号通过分析仪进行读取,并用于产生频率响应谱。
    2、光学平台的研发过程中,对平台表面上很多点的柔量曲线进行记录;但是,平台四个角上的柔量往往都是最大的。因此企业发布的柔量曲线和数据都是通过平传感器在台四个角上测得的。
    3、产品都需经过独立测试,并附带一份单独的测试数据报告和柔量曲线。这样一来,就可以提供比采用单一尺寸柔量曲线表示所有产品特性的工业标准更数据。
    4、量曲线和数据是光学平台的两个比较重要的指标,量曲线和数据都是通过平传感器在台四个角上测得的,因此说明了最不理想情况下的数据结果。

光学气浮平台
    三、光学隔振平台作用
    振动来源主要分为来自系统之外的振动和系统内部的振动。地面固有振动,工作人员踩踏地板以及开、关门或墙壁碰撞等通过地面传来的振动均属系统之外的振动,这一类振动需通过光学平台的隔振腿衰减;而来自系统内部的振动包括仪器振动、气流、冷却水流等,则需依靠光学平台的桌面阻尼来隔绝。
    固有频率
    固有频率,顾名思义,为系统本身发生的振动的频率。数值上来看,固有频率等于共振频率。考虑物块与弹性悬臂梁组成的系统,固有频率取决于两个因素——物块质量,以及充当弹簧的弹性悬臂梁的弹性系数。质量减小或弹性系数减小可增大固有频率;质量增大或悬臂梁弹性系数增大可降低固有频率。

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